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一种二硫化钼/硫化锌双功能层结构忆阻器及其制备方法

本发明涉及一种二硫化钼/硫化锌双功能层结构忆阻器及其制备方法,属于忆阻器技术领域。所述忆阻器为MIM形式结构,其结构从下至上依次为:底电极、二硫化钼/硫化锌双层薄膜功能层、顶电极。本发明的这种二硫化钼/硫化锌双功能层结构忆阻器具有MoS2/ZnS界面,其在施加偏压下,硫空位能够容易地从MoS2漂移到ZnS中,形成硫空位导电通道,使器件进入低阻态;当施加相反偏压时,硫空位重新漂移回到MoS2,导电通道断裂,使器件回到高阻态,同时,本发明采用的惰性电极阻止了硫空位进入顶电极,大幅度改善了忆阻器的重复性。
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