本发明公开了一种锌离子掺杂的钛酸铋钠薄膜及其低温制备方法，属于功能薄膜领域。该薄膜以化学通式Na0.5Bi0.5Ti1-xZnxO3-δ表示，其中，x为锌离子的摩尔掺量，0.005≤x≤0.05；δ是为了维持电荷平衡所失去的氧原子的数目。本发明通过化学溶液法结合层层退火工艺，在ITO玻璃衬底上，于500~550℃结晶温度下制得具有良好电绝缘性、铁电性、介电性的薄膜，在非易失性铁电存储器中具有较广泛的应用，同时也可用于开发具有铁电、压电、光电、光折变及非线性光学特性的多功能材料及器件。