一种扩散炉智能温控系统

本发明公开了一种扩散炉智能温控系统，它包括若干可控硅、触发电路、温控仪、PLC控制器、热电偶、舟控制装置、质量流量计、冷端组件、气体混合控制器和触摸屏。本发明采用具有结构紧凑、控温精度高和性能稳定特点的温控仪，通过分别设置在扩散炉炉体内各个温区内和炉壁上的热电偶采集扩散炉各个温区的温度，能够对扩散炉的多温区进行同步测控；采用上述温控仪后，本发明对扩散炉的各个温区实现了单回路和串级控制，不仅具有集成度高、精度高、稳定性好、功能强大和功耗低等特点，而且降低了硬件成本，减少了编程人员的工作量。