用于基底表面处理的纳米复合涂层及其制备方法和装置

本发明提供一种用于基底表面处理的纳米复合涂层，所述用于基底表面处理的纳米复合涂层包括附着在基底表面上的Ti过渡层和纳米复合涂层，所述纳米复合涂层由TiN涂层、TiAlN涂层、CrTiAlN涂层交替排列组成，所述Ti过渡层设置在里层，纳米复合涂层设置在表层。其制备装置是在现有磁控溅射设备基础上改进的，其制备方法采用磁控溅射法完成，该一种用于基底表面处理的纳米复合涂层和现有技术相比，硬度高、氧化温度高、热硬性好、附着力强、摩擦系数小和导热率低，适用范围广泛。