一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置

发布日期：2019-12-05 来源：1665.0 点击：

本发明的一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置，包括基座，基座包括圆柱形的导热体，导热体内底部开有若干个同心且深度不同的环形卡槽，每个环形卡槽内均设置有一个环形的加热电阻，环形卡槽和加热电阻的排布采用自带流体与热传导方程的多物理场仿真软件进行仿真，并将热传导模型与流体模型进行耦合计算得出。本发明的有益效果是：本发明通过调节加热电阻的产热量，并调节环形卡槽的尺寸，使导热体表面的温度分布均匀性提高。

一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置

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