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发明专利
一种大面积石墨烯的制备方法
发布日期:2019-12-05 来源:1837.0 点击:
本发明公开了一种大面积石墨烯的制备方法,包括以下步骤:(1)在衬底表面沉积金属薄膜:(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜;(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理,得到石墨烯薄膜。本发明制备方法的成本低、效率高、可以实现批量化生产,可以制备得到高质量的单层或多层石墨烯薄膜,可以实现低成本、大批量晶圆级石墨烯的制备。
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