一种固态微型超级电容器及其制作方法

发布日期：2019-12-05 来源：2370.0 点击：

本发明涉及一种固态微型超级电容器及其制作方法。该器件具有平面式结构电极，与传统的三明治结构超级电容器相比，极大的提高了器件的平面集成度，满足小尺寸高便携性的需求。具体工艺步骤如下：首先，采用掩模版，通过脉冲激光沉积(PLD)法在基底上沉积集流体；然后，在集流体上沉积电极材料；最后，注入固态电解质封装制得固态微型超级电容器。本发明能够实现平面结构可控、电极成分和结构易调、工艺过程简单的微型超级电容器制作。

一种固态微型超级电容器及其制作方法

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