一种柔性微型超级电容器及其制作方法

本发明涉及一种柔性微型超级电容器及其制作方法。该器件具有平面式结构电极与良好的机械柔性，能够满足现代电子产品在小尺寸高便携可穿戴方面的需求。具体工艺步骤如下：首先，利用真空蒸发镀膜仪直接在柔性基底上蒸镀对应集流体；然后，采用脉冲激光沉积(PLD)法在集流体上沉积电极材料；最后，注入固态电解质封装制得微型超级电容器。本发明能够实现平面结构可控、电极成分和结构易调、器件机械柔性良好、工艺过程简单的柔性微型超级电容器制作。