本发明涉及氧化锌微米线制备方法技术领域，提供了一种超长氧化锌微米线的制备方法，包括利用磁控溅射的方法在硅衬底上制备氧化锌薄膜；然后氧化锌粉、碳粉和砷化镓，做为反应源放在陶瓷舟中；硅衬底放在反应源的沿气流方向的偏下方；将陶瓷舟放在干净的石英管中，再将石英管放置在水平管式炉的生长区；利用氩气作为保护气，经升温、保温、降温后制得超长氧化锌微米线。借此，本发明通过采用磁控溅射的方法在硅衬底上制备很薄的氧化锌薄膜作为生长氧化锌微米线的籽晶层，再用化学气相沉积的方法生长截面为四边形的超长氧化锌微米线。微米线的形貌均一，截面为四面形，其长度可达1‑2厘米，更有利于人工操作。本发明的方法成本低且具有很好的重复性。
