本发明公开了一种可逆光控疏水性的偶氮苯类含氟共聚物/纳米SiO2复合膜及其制备方法,所述复合膜的制备包括以下步骤:(1)将甲基丙烯酸三氟乙酯和含偶氮苯基团的丙烯酸酯类单体按照摩尔比10 : 1~1 : 10加入到溶剂a中;以偶氮二异丁腈为引发剂进行自由基溶液聚合;反应生成的聚合物经反复溶解、沉淀,再经干燥后,制备得到二元无规共聚物;(2)将步骤(1)的二元无规共聚物于溶剂b中溶解,得到共聚物溶液;向共聚物溶液中加入纳米SiO2,使纳米SiO2的含量为0.1‑10wt%,超声处理,旋涂于基底上,干燥后形成所述复合膜。本发明的制备方法简单,制备得到的复合膜的疏水性可逆变化范围大,界面强度高,特别适用于光响应材料的制备。