本发明涉及周期极化波导制备技术领域，特别涉及一种制备周期极化KTiOPO4平面波导的方法：采用离子注入的方法，在KTiOPO4晶体内形成晶格损伤层；在KTiOPO4晶体表面形成周期性光刻胶图形，在光刻基础上镀金属膜，清洗掉光刻胶，在KTiOPO4晶体表面形成周期性结构的金属膜；将KTiOPO4晶体进行离子交换，使表面不含有金属膜部分充分交换，并使交换区域的铁电畴发生反转，含有金属膜部分保持原有特性，清洗掉金属膜后获得周期极化KTiOPO4平面波导结构。本发明的方法利用离子注入损伤层作为离子交换的阻挡层，对离子交换的深度与浓度进行有效的调控，使离子交换区域的铁电畴发生均匀反转，提高倍频效率。
