当前位置: 网站首页 >> 发明专利 >> 正文
发明专利

一种带有电荷可调型场板的P型LDMOS结构

发布日期:2019-12-05 来源:3187.0   点击:
本发明公开了一种带有电荷可调型场板的P型LDMOS结构,包括:N型半导体衬底,N型半导体衬底上设有P型漂移区和N型阱,在N型阱上设有P型源区、N型接触区和栅氧化层,在P型漂移区上设有P型漏区和场氧化层,其特征在于,所述场氧化层表面设有多个电荷可调型场板,每个电荷可调型场板上均连接有金属感应层,在N型接触区和P型源区上连接有源极金属,所述源极金属完全覆盖所有的金属感应层。该结构可以使器件整个漂移区获得均匀的表面横向电场分布,具有很高的横向耐压能力,可以在保持高击穿电压的条件下提高器件的漂移区掺杂浓度,从而获得低的导通电阻。

上一条:一种空气气氛制备氟磷酸钒钠材料的方法

下一条:一种同时检测两种环境雌激素的传感器的制备方法及应用