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发明专利

一种带有电荷可调型场板的横向绝缘栅双极型晶体管

发布日期:2019-12-05 来源:3189.0   点击:
本发明公开了一种带有电荷可调型场板的横向绝缘栅双极型晶体管,包括P型衬底,P型衬底上设有N型漂移区和P型阱,P型阱上设有阴极接触区和第一场氧化层,N型漂移区上设有P型阳极接触区和第二场氧化层,第一场氧化层和第二场氧化层上方设有介质层,其特征在于,所述第一场氧化层表面设有多个感应电容电极板,所述第二场氧化层表面设有多个电荷可调型场板,所述介质层表面设有多个上层电荷可调型场板,且每一个感应电容电极板和一个与之一一对应的电荷可调型场板或上层电荷可调型场板通过重掺杂的多晶硅或金属互连线相连接。该结构器件的漂移区电场分布均匀,耐压所需漂移区长度小,电流能力强,导通损耗和开关损耗小。

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