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发明专利

一种带有场板辅助掺杂区的N型LDMOS结构

发布日期:2019-12-05 来源:3211.0   点击:
本发明公开了一种带有场板辅助掺杂区的N型LDMOS结构,包括P型半导体衬底;P型半导体衬底上设有N型漂移区和P型阱;P型阱上设有N型源区和P型接触区;N型漂移区上设有N型漏区和场氧化层;在部分N型漂移区和部分P型阱上方设有栅氧化层;栅氧化层表面设有多晶硅栅;P型接触区和N型源区上连接有源极金属,且源极金属延伸至场氧化层的上方;N型漏区上连接有漏极金属;其特征在于,N型漂移区的内部设有场板辅助掺杂区,场板辅助掺杂区的掺杂类型为N型,且掺杂浓度大于N型漂移区的掺杂浓度。该结构可以改善场板覆盖范围内表面电场的均匀性,提高器件横向击穿电压,同时减小器件的导通电阻。

上一条:一种空气气氛制备氟磷酸钒钠材料的方法

下一条:一种同时检测两种环境雌激素的传感器的制备方法及应用