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发明专利

带有宽度渐变型场板的横向双扩散金属氧化物半导体场效应管

发布日期:2019-12-05 来源:3248.0   点击:
本发明公开了一种带有宽度渐变型场板的横向双扩散金属氧化物半导体场效应管,包括:源极金属以及与源极金属相对的漏极金属,所述源极金属上连接宽度渐变型金属场板,所述宽度渐变型金属场板包括沿宽度方向排布的若干宽度渐变型金属层,每一个所述宽度渐变型金属层的宽度沿着源极到漏极的方向逐渐减小。该结构可以使场板上所感应的电荷在器件长度方向上分布更加均匀,从而使器件表面电场分布更加均匀,因此可以在保证器件导通电阻的条件下提高器件的横向耐压能力。

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