本发明涉及一种制备一氯甲基三氯硅烷的装置，属于有机合成技术领域。本发明的装置，蒸发釜连接有通气管，通气管末端位于蒸发釜内物料液面以下，精馏塔外设有加热装置，冷凝装置的液体回流管分别与精馏塔的上部和成品罐连接，蒸发釜、精馏塔不透光，反应器透光。通气管末端位于蒸发釜内物料液面以下，能够确保氯气与甲基三氯硅烷蒸汽充分混合；同时能有效控制Cl2与CH3SiCl3的摩尔比；从而提高甲基三氯硅烷的转化率。在反应器和蒸发釜之间连接有精馏塔；反应结束后，可以直接对蒸发釜加热进行蒸馏操作；也就说，反应装置即为产物分离装置；无需更换装置；所以，精馏塔的存在，从而大大降低了危险发生几率，也使得操作更加简单，降低了人工、时间成本。
