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发明专利

大量程压电薄膜三维力传感器

发布日期:2019-12-05 来源:3613.0   点击:
本发明公开了一种大量程压电薄膜三维力传感器,属于传感器及其测控领域,其特征在于,包括上盖、底座、压电薄膜组、绝缘膜、导线、导线孔、预紧螺钉组成。本发明采用上下盖支撑式结构,四组压电薄膜组相对于坐标系对称均布,安装于上盖与底座凹凸槽之间。每组压电薄膜组由三片压电薄膜、六片电极片和四片绝缘膜按照一定的安装顺序组成,可实现三维力动态测量。上盖采用特殊的凹槽结构,其弹性支撑壁可起到并联分载效果,改变弹性壁尺寸,实现不同量程范围载荷测量。本发明测量量程大、动态性能好、工艺性好、稳定性好、制造容易,寿命长,操作简单、使用方便、成本低。

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