本发明涉及生物传感器技术领域，尤其涉及一种生物传感器及其制备方法和应用。所述传感器包括底板和芯片，所述芯片为设置在该底板上的两个并联单元和金属层，所述金属层设置在两个并联单元之间；每个并联单元包括平面状的螺旋形电感和锤状电容，所述螺旋形电感的中间具有空白区域，所述锤状电容内嵌在所述空白区域中；锤状电容上引出两条导线，其中一条导线用于接地，另一条导线与所述金属层连接。底板包括衬底和SU‑8高聚物钝化层，所述钝化层在传感器的检测区域形成预设厚度和预设面积的开口，以此形成设定空间溶剂的凹槽。本发明提出的射频生物传感器具有小尺寸、快检测速度、简易且低成本的加工过程、可定量检测等特点。
