一种厚度可控纳米多孔金属薄膜的制备方法

本发明涉及一种激光脉冲沉积制备纳米多孔金属薄膜的方法，首先根据所需比例制作镂空的A金属片，A金属片与B金属片复合作为靶材；然后在衬底上用脉冲激光沉积方法以靶材为原料沉积一层合金薄膜，真空腔内真空度10-5-105Pa，薄膜沉积时衬底温度为50-1100摄氏度，激光频率为1-10Hz，激光能量为50-300mj，根据脉冲激光次数和激光能量密度调节合金薄膜厚度。将合金薄膜放入退火炉中在80-1000摄氏度下退火0.5-6小时。将退火处理的合金薄膜放入浓度1-10wt%NaOH或1-10wt%H2SO4溶液中浸泡脱合金，得到纳米多孔金属薄膜。本发明无需高温熔炼合金，薄膜厚度可根据脉冲次数精确可控，节省原料，孔径可根据加热保温时间调节。